XU-100光谱测厚仪
性能优势
● 检测速度快 即放即测，最快可1秒出检测结果 | ● 变焦装置算法 可对各种凹槽异形件进行检测，凹槽深度测量范围可达0-30mm |
● 高精密微型移动滑轨 微米级移动精度，快速精准定位微小样品 | ● 更高的性价比 制造工艺升级，更具性价比，大大节省使用成本 |
● 使用寿命长 模块化设计，聚焦节能，搭载自动休眠模式，延长使用寿命 |
XU-100光谱测厚仪
技术参数
型号 | XU-100 |
测量元素范围 | CI(17)/AI(13)-U(92) |
涂镀层分析范围 | Li(3)-U(92) |
RoHS | 可选配 |
算法 | 自主研发的EFP算法 |
软件操作 | 人性化封闭软件，自动判断故障提示校正及操作步骤，避免误操作 |
X射线装置 | 微聚焦射线管 |
准直孔 | Ф0.1mm/Ф0.2mm/0.5mm/5mm(选配四准) |
信号及接收 | Pro-SD处理器+PC/DPP+FAST SDD(选配) |
滤光片 | 选配集成嵌入式多滤光片切换装置 |
微光聚焦技术 | 最近测距光斑扩散度 10% |
测量距离 | 具有距离补偿功能，可改变测量距离测量凹凸异形样品，变焦距离可达0-30mm |
样品观测 | 1/2.7"彩色CCD，变焦功能 |
对焦方式 | 高敏感镜头，手动对焦 |
放大倍数 | 光学38-46X，数字放大40-200倍 |
仪器尺寸 | 550mm*360mm*410mm |
样品舱尺寸 | 长435mmx宽330mmx高140mm |
样品台移动 | 选配高精密XY手动移动平台 |
可移动范围 | 50mm*50mm |
